有几种电离方式。

气体原子和分子的电离可以通过光、X射线和Y射线的照射，即电磁波的吸收，以及电子、离子或高能中性粒子的碰撞加速而发生。这种电离不仅可以由单个激发过程引起，也可以由几个激发过程的累积引起。通常，电离方法如下:

1.光、X射线和Y射线照射:电离所需的能量由光、X射线和Y射线提供。放电的初始电荷是电离产生的离子。这种电离形成的电荷密度通常非常低。

2.放电:从DC到微波的所有频段内的放电都可以产生各种电离态。

3.燃烧:是一种通过燃烧使气体热电离的方法。火焰中的高能粒子相互碰撞而电离，称为热电离。此外，特定的热化学反应释放的能量也会引起电离。

4.冲击波:气体快速压缩形成的高温气体发生热电离产生等离子体。

5.激光照射:激光照射可以使物质汽化和电离。这需要强大的激光。

6.碱金属蒸汽与高温金属板接触:使碱金属蒸汽与高温金属板接触产生等离子体。当气体与功函数大于电离能的金属接触时，就会发生电离。碱金属蒸汽的电离能小，所以容易电离。

电离产生的电子和正离子一般会在短时间内复合，回到中性原子或分子。此时，电子和正离子的部分能量以电磁波、复合粒子的动能或分子的离解能的形式被消耗。分子解离时往往会产生自由基。还有一些电子与中性原子和分子接触，产生负离子。所以等离子体是电子、正负离子、受激原子、分子、自由基的混合状态。