什么是微纳技术？
MEMS技术主要涉及0.1μm到几毫米范围内的传感器、微致动器和微系统的研发。它以单晶硅为基础材料，以光刻并行制造为主要加工特征，采用微电子工艺设备结合其他专用工艺设备为加工手段。
纳米级一般指1 ~ 100 nm。纳米科学是在纳米尺度上研究原子、分子等各类物质的运动和变化的科学，而在同一尺度上操纵和处理原子、分子的技术称为纳米技术，纳米尺度上的机电系统称为纳米机电系统。
可见两者之间既有联系又有区别。前者是后者的基础，后者是前者的发展方向。
纳米技术包括以下四个主要方面:
1.纳米材料:当一种物质达到纳米尺度，大约是0.1-100纳米，物质的性质会突然发生变化，出现特殊的性质。？这种具有不同于原来的原子、分子和宏观物质的特殊性质的材料，被称为纳米材料。
2.纳米动力学:主要是微型机械和微型电机，或称微机电系统(MEMS)，用于传动机械、光纤通信系统、特种电子设备、医疗和诊断仪器等的微型传感器和执行器。它采用了一种类似于集成电器设计和制造的新技术。特点是零件很小，刻蚀深度往往需要几十到几百微米，宽度误差很小。这种工艺也可用于制造三相电机、超高速离心机或陀螺仪。在研究中，应相应地检测准原子尺度的微变形和微摩擦。虽然它们目前还没有真正进入纳米尺度，但却具有巨大的潜在科学和经济价值。
3.纳米生物学和纳米药理学:比如用纳米粒径的胶体金将dna颗粒固定在云母表面，用二氧化硅表面的叉指电极做生物分子、磷脂和脂肪酸双层平面生物膜的相互作用，dna的精细结构等实验。有了纳米技术，你还可以通过自组装将零件或组件放入细胞中，形成新材料。约一半的新药，即使是微米级颗粒的细粉，也不溶于水；但如果颗粒是纳米级的(即超细颗粒)，则可以溶于水。
4.纳米电子学:包括基于量子效应的纳米电子器件、纳米结构的光/电特性、纳米电子材料的表征、原子操纵和组装。当前电子技术的趋势要求设备和系统更小、更快、更冷、更小，这意味着更快的响应。更冷意味着单个设备的功耗更小。但是更小并不是无限的。？纳米技术是建设者的最后一个前沿，它的影响将是巨大的。